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高圧ガス設備技術

        製 品 案 内
真空断熱配管は、極低温液化ガス(LNG、LO2、LN2、LH2、LHe等)を移送するためのステンレス製2重管で

半導体製造装置、冷却試験装置、食品加工設備など、幅広い分野などでご採用いただいております。

また、より簡便にご使用いただくための気液分離機などの機器もご用意しております。
積層断熱真空配管 【 S.I.V.P 】

 内管/外管ともにステンレス管を使用。
 バイオネットジョイント接続で、現場組み立てが簡単です。
 
積層断熱真空フレキ 【 S.I..V. L.E.X. 】

 内管/外管ともにステンレスフレキシブル管を使用しており、
 自在性があるため、供給ライン端末の液取り管に適します。
 バイオネットジョイント接続で、現場組み立てが簡単です。
気液分離機

 装置への液化窒素供給時に、液化窒素と窒素ガスを分離し
 装置側へ液化窒素の状態で安定供給させるための装置です。
 半導体製造装置や試験装置のほか、食品関連装置に採用
 されています。
S.I.V.P カタログ →
S.I.V.L.E.X  カタログ →
気液分離機  カタログ →

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